http://techon.nikkeibp.co.jp/article/TOPCOL/20080310/148752/
革新技術で「微細化限界論」に挑む
2008/03/11 09:30
大石 基之＝日経エレクトロニクス
現在最大的問題是，過去的製程改善會帶來生產性的提升(cost down)；但是未來越來越不見得會這樣。
預測從2004年的90nm，到2016年的22nm之間，設備投資每年加10%、製程研究開發每年加11%….
結果可能會變成，對大部分的user而言成本根本沒有減低。
當然為了維繫半導體業的前進動力，總是得找出解決之道….
比方說，最近IBM號召各廠合作突破32nm以下的製程的事情；Intel最近似乎也在45跨32的部分得到了關鍵性的進展。
聽說High-K搞得好的話，只要跨得過32nm，可以一路順暢到193pm….？
應該不是這樣的 High-K，並不能解決現有半導體所面臨到的所有問題，gate 的漏電雖然減少了，但導線的漏電卻越來越嚴重，另外穿隧效應在導線上也隨著線寬縮小而更加的明顯，目前已知中較有可能的解是 IBM 的挖洞方式，不過他們只有丟 paper，但是沒人知道他怎麼做的，這點問題頗大……
半導體在製程進步及降低成本或是降低發熱上，目前已經是效益不彰了，基本的材料問題解決的很少，這方面有趣的是 IBM 雖說有不少的東西沒丟出來，但是要把那些東西轉化成可用的實際製程要不少的錢，這也是他們跟 Intel 最大的差別，不過 Intel 雖說抓到的關鍵技術不多但他們的 pass 能力是一流的，看兩家這樣玩下去也還頗有趣的。
應該不是這樣的 High-K，並不能解決現有半導體所面臨到的所有問題，gate 的漏電雖然減少了，但導線的漏電卻越來越嚴重，另外穿隧效應在導線上也隨著線寬縮小而更加的明顯，目前已知中較有可能的解是 IBM 的挖洞方式，不過他們只有丟 paper，但是沒人知道他怎麼做的，這點問題頗大……
半導體在製程進步及降低成本或是降低發熱上，目前已經是效益不彰了，基本的材料問題解決的很少，這方面有趣的是 IBM 雖說有不少的東西沒丟出來，但是要把那些東西轉化成可用的實際製程要不少的錢，這也是他們跟 Intel 最大的差別，不過 Intel 雖說抓到的關鍵技術不多但他們的 pass 能力是一流的，看兩家這樣玩下去也還頗有趣的。
据说碳纳米管可以解决目前的很多技术难题
以下是驱家的消息:
45nm以下铜互连不如碳纳米管
美国纽约州Rensselaer工学院科学家的最新试验显示，在45nm及以下制程中，碳纳米管材料的性能已经超过目前普遍使用的铜互连工艺。
他们通过计算机模拟完成了这次试验，这也是全球第一次包含详细量子效应的芯片模拟试验，使用该校计算中心的100TFlops IBM超级计算机完成。试验最终结果显示，由于发热量过大，在45nm或更小的尺寸下，铜互连工艺无法实现理想的效果。而如果使用碳纳米管互联则可解决发热问题。
Saroj Nayak教授表示：“我们相信，碳纳米管在45nm制程下的表现会比铜质连线更为出色。将来我们会对两种构造的性能进行精确的比较。”研究者建议，在45nm及更精密的制程下，采用碳纳米管来作为芯片上互连导线的材料，可以降低阻抗，从而降低功率。
研究者表示，之前很少有芯片厂商原因使用碳纳米管的原因是，他们没有精确的测试数据以显示碳纳米管的优势所在，此次的试验能够给予他们信心。但目前的问题是，还没有一种方法可以大量制造碳纳米管。实验室中制造碳纳米管的方式，根本无法适用于芯片量产。
据说碳纳米管可以解决目前的很多技术难题
以下是驱家的消息:
45nm以下铜互连不如碳纳米管
美国纽约州Rensselaer工学院科学家的最新试验显示，在45nm及以下制程中，碳纳米管材料的性能已经超过目前普遍使用的铜互连工艺。
他们通过计算机模拟完成了这次试验，这也是全球第一次包含详细量子效应的芯片模拟试验，使用该校计算中心的100TFlops IBM超级计算机完成。试验最终结果显示，由于发热量过大，在45nm或更小的尺寸下，铜互连工艺无法实现理想的效果。而如果使用碳纳米管互联则可解决发热问题。
Saroj Nayak教授表示：“我们相信，碳纳米管在45nm制程下的表现会比铜质连线更为出色。将来我们会对两种构造的性能进行精确的比较。”研究者建议，在45nm及更精密的制程下，采用碳纳米管来作为芯片上互连导线的材料，可以降低阻抗，从而降低功率。
研究者表示，之前很少有芯片厂商原因使用碳纳米管的原因是，他们没有精确的测试数据以显示碳纳米管的优势所在，此次的试验能够给予他们信心。但目前的问题是，还没有一种方法可以大量制造碳纳米管。实验室中制造碳纳米管的方式，根本无法适用于芯片量产。
碳的話最好能作成無瑕疵鑽石網狀結構，導電性和耐熱性.傳熱性都是一流
作法的話最有可能的是以化學氣相沈積法
不過按照現在的研究速度碳要取代金屬要到2012年以後
碳的話最好能作成無瑕疵鑽石網狀結構，導電性和耐熱性.傳熱性都是一流
作法的話最有可能的是以化學氣相沈積法
不過按照現在的研究速度碳要取代金屬要到2012年以後
碳纳米管是一种奇异分子，它是使用一种特殊的化学气相方法，使碳原子形成长链来生长出的超细管子，细到5万根并排起来才有一根头发丝宽。这种又长又细的分子，人们给它取个计量单位“纳米”（百万分之一毫米）的名字，叫“纳米管”。尽管碳纳米管的理论上可长到几公里而不断，但人们已用多种方法制备的碳纳米管，最长也只有一二百微米。我国科学家另辟蹊径，创造性的制出了3毫米长的碳纳米管，把长度增加了上万倍。
碳纳米管有着不可思议的强度与韧性，重量却极轻，导电性极强，兼有金属和半导体的性能；把纳米管组合起来，比同体积的钢强度高100倍，重量却只有1/6。
碳纳米管是一种奇异分子，它是使用一种特殊的化学气相方法，使碳原子形成长链来生长出的超细管子，细到5万根并排起来才有一根头发丝宽。这种又长又细的分子，人们给它取个计量单位“纳米”（百万分之一毫米）的名字，叫“纳米管”。尽管碳纳米管的理论上可长到几公里而不断，但人们已用多种方法制备的碳纳米管，最长也只有一二百微米。我国科学家另辟蹊径，创造性的制出了3毫米长的碳纳米管，把长度增加了上万倍。
碳纳米管有着不可思议的强度与韧性，重量却极轻，导电性极强，兼有金属和半导体的性能；把纳米管组合起来，比同体积的钢强度高100倍，重量却只有1/6。